Сухие винтовые вакуумные насосы и многоступенчатые насосы Рутса
Сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA («Буш» или BUSCH, Германия) – это классические винтовые машины, которые ведут свой «род» от винтовых компрессоров, которые вытеснили за последние 20 лет весьма распространенные в 20-м веке поршневые машины практически во всех крупных предприятиях мировой промышленности. Главные преимущества винтовых вакуумных насосов – это хороший уровень ЧИСТОГО вакуума и низкое энергопотребление. Кроме того, винтовая конструкция позволяет эффективно распределять энергию в зависимости от потребления вакуума в рабочих циклах техпроцессов. Это выполняется посредством повышения или понижения скорости вращения роторов с помощью частотного инвертора, которым оснащается электропривод вакуумного насоса по требованию заказчика. Серия винтовых насосов COBRA включает восемь стандартных моделей с производительностью (от 100 до 2000) м3/ч, которые развивают вакуум порядка 0,05 мбар абс. Возможна поставка химически стойких и взрывозащищенных исполнений винтовых вакуумных насосов COBRA. |
Тип насоса | Основные технические данные: | ||||||
Конструкция насоса | Производи-тельность, м³/ч | Предельный вакуум, мбар абс. | Мощность электро-двигателя, кВт | Уровень шума, дБ(А) | Габаритные размеры, (L×B×H) мм | Вес, кг | |
NC 0100 B | винтовой | 110 | менее 0,05 | 3 | 70 | 1004×467×595 | 235 |
NC 0200 B | винтовой | 220 | менее 0,05 | 5,5 | 71 | 1174×467×607 | 290 |
NC 0300 B | винтовой | 320 | менее 0,05 | 7,5 | 72 | 1334×467×607 | 315 |
NC 0250 B | винтовой | 210 | менее 0,05 | 5,5 | 66 | 1146×424×558 | 300 |
NC 0400 B | винтовой | 350 | менее 0,05 | 7,5 | 66 | 1329×480×638 | 460 |
NC 0630 B | винтовой | 525 | менее 0,05 | 11 | 70 | 1500×522×689 | 660 |
NC 0900 B | винтовой | 720 | менее 0,05 | 15 | 75 | 1865×620×810 | 1200 |
NC 2500 B New | винтовой | 2000 | 0,5 | 55 | 89 | 2120×1470×1450 | 1800 |
Сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA Semicon («Буш» или BUSCH, Германия) – это современные одно- или двухступенчатые винтовые и комбинированные вакуумные машины для достижения хорошего и чистого вакуума. Они относятся к новейшему поколению сухих вакуумных насосов и являются расширением классических рядов винтовых машин (Screw pumps) в область переходных границ среднего и высокого вакуума. В отличие от классических вакуумных винтовых насосов, эти вакуумные агрегаты, стартуя с атмосферного давления (1013 мбар абс.), могут вести откачку до относительно высокого уровня вакуума, вплоть до 0,001 мбар абс. Выхлоп винтовых вакуумных насосов происходит в атмосферу, они не требуют наличия смазок в зоне сжатия и относятся к разряду сухих вакуумных насосов, создающих чистый, свободный от капельных и летучих углеводородов вакуум. Для управления частотой вращения роторов могут применяться встроенные частотные инверторы в комплекте с простейшими чипами электронного управления. Т.о. при откачке густых газовых потоков на высоких давлениях частота вращения роторов может автоматически снижаться, а при хорошем вакууме повышаться, увеличивая тем самым производительность откачки. Типичная сфера применения – производство полупроводников. |
Тип насоса | Основные технические данные: | ||||||
Конструкция насоса | Скорость откачки, м³/ч | Предельный вакуум, мбар абс. | Мощность электро-двигателя, кВт (об/мин) | Уровень шума, дБ(А) | Габаритные размеры, (L×B×H) мм | Вес, кг | |
DS 0080 C | винтовой, 1 ступень | 70 | 0,03 | 2,2 (3000) | 62 | 865×385×667 | 276 |
BA 0100 B | винтовой, 1 ступень | 85 | 0,01 | 1,8 (3000) | 58 | 634×304×338 | 120 |
DS 0160 C | винтовой, 1 ступень | 140 | 0,03 | 4 (3000) | 68 | 975×425×697 | 338 |
DS 0600 D | винтовой, 1 ступень | 600 | 0,01 | 15 (3600) | 69 | 1617×587×748 | 745 |
DS 0700 C | винтовой, 2 ступени | 500 | 0,003 | 2,2 + 2,2 (3000/3000) | 62 | 865×385×917 | 445 |
DS 1000 C | винтовой, 2 ступени | 525 | 0,003 | 2,2 + 3 (3000/3000) | 62 | 1034×425×1017 | 576 |
DS 1000 F | винтовой, 2 ступени | 980 | 0,003 | 4,4 + 2,9 (5100/5400) | 62 | 1068×426×773 | 435 |
DS 2000 C | винтовой, 2 ступени | 1365 | 0,003 | 4 + 4 (3000/3000) | 68 | 1063×465×1069 | 668 |
DS 2000 F | винтовой, 2 ступени | 1500 | 0,003 | 4,4 + 4 (5100/5400) | 62 | 1068×426×800 | 470 |
DS 3010 D | винтовой, 2 ступени | 3100 | 0,001 | 15 + 15 (3000/3600) | 74 | 1420×723×1525 | 1380 |
DS 8161 D | винтовой, 2 ступени | 6000 | 0,001 | 15 + 15 (3600/5100) | 74 | 1536×723×1505 | 1440 |
DS 8162 D | винтовой, 3 ступени | 7200 | 0,003 | 2 х 15 + 20 (3000/3600) | 74 | 1604×1462×1860 | 2500 |
Сухие вакуумные насосы серий NeoDry, SDE и MU («Кашияма» или Kashiyama, Япония) – это современные одно- или двухступенчатые двухроторные винтовые и типа Рутса вакуумные машины для достижения относительно хорошего уровня ЧИСТОГО вакуума. Они относятся к новейшему поколению сухих вакуумных насосов и являются расширением классических рядов двухроторных машин Рутса (Screw & Roots) в область откачки плотных газовых сред от атмосферного давления (1013 мбар абс.) до граничного среднего с высоким вакуума, вплоть до 0,001 мбар абс. Серия сухих вакуумных насосов NeoDry – это компактные многоступенчатые вакуумные насосы Рутса малого класса с производительностью (от 15 до 60) м3/ч и предельным вакуумом 0,01 мбар абс. Линия сухих вакуумных насосов MU – это компактные многоступенчатые вакуумные насосы Рутса среднего класса с производительностью (от 100 до 1200) м3/ч и предельным вакуумом 0,005 мбар абс. Гамма сухих вакуумных агрегатов SDE – это винтовые вакуумные насосы с автоматически оптимизированными кривыми скоростей откачки (от 80 до 2100). Регулирование выполнено с помощью частотного управления электроприводами винтовых вакуумных насосов. Одна из важных отраслей применения сухих вакуумных насосов NeoDry, SDE и MU – полупроводниковая промышленность. |
Тип насоса | Основные технические данные: | ||||||
Конструкция насоса | Скорость откачки, м³/ч | Предельный вакуум, мбар абс. | Мощность электро-двигателя, кВт | Уровень шума, дБ(А) | Габаритные размеры, (L×B×H) мм | Вес, кг | |
NeoDry 15E | насос Рутса, 1 ступень | 15 | 0,01 | 0,4 | менее 56 | 385 x 210 x 250 | 23 |
NeoDry 30E | насос Рутса, 1 ступень | 30 | 0,01 | 0,75 | менее 56 | 410 x 210 x 250 | 25 |
NeoDry 36E | насос Рутса, 1 ступень | 36 | 0,01 | 0,75 | менее 58 | 475 x 298 x 275 | 54 |
NeoDry 60E | насос Рутса, 1 ступень | 60 | 0,01 | 1,1 | менее 60 | 530 x 315 x 275 | 56 |
MU 100X | насос Рутса, 1 ступень | 99,6 | 0,015 | 1,5 | 60 | 450 x 230 x 275 | 60 |
MU 300X | насос Рутса, 2 ступени | 300 | 0,005 | 2,2 + 3 | 62 | 472 x 230 x 550 | 100 |
MU 600X | насос Рутса, 2 ступени | 600 | 0,005 | 3 + 4 | 62 | 552 x 230 x 550 | 120 |
MU 1200X | насос Рутса, 2 ступени | 1200 | 0,005 | 3 + 5,5 | 62 | 648 x 275 x 610 | 165 |
SDE 90X | винтовой, 1 ступень | 78 | 0,013 | 1,5 | 62 | 690 x 370 x 581 | 150 |
SDE 303X | винтовой, 2 ступени | 300 | 0,005 | 2,2 + 3 | 62 | 760 x 400 x 905 | 260 |
SDE 603X | винтовой, 2 ступени | 600 | 0,005 | 3 + 4 | 62 | 760 x 400 x 905 | 260 |
SDE 1203X | винтовой, 2 ступени | 1200 | 0,005 | 3 + 5,5 | 64 | 900 x 400 x 905 | 310 |
SDE 20M09X | винтовой, 2 ступени | 2100 | 0,005 | 4 + 7,5 | 67 | 900 x 460 x 960 | 470 |
Сухие вакуумные насосы серий PVD, EST, ESA и ESR («Эбара» или EBARA, Япония) – это современные одно- или двухступенчатые винтовые агрегаты и вакуумные машины Рутса для достижения относительно хорошего уровня ЧИСТОГО вакуума. Это новейшее высокотехнологичное поколению сухих вакуумных насосов, которые являются расширением классических рядов двухроторных машин Рутса (Roots & Screw) в область откачки газовых сред от атмосферного давления (1013 мбар абс.) до граничного среднего с высоким вакуума, вплоть до 0,001 мбар абс. Серия PVD – это компактные винтовые агрегаты малого класса с предельным вакуумом 0,005 мбар абс. Серия EST – это широкая линейка винтовых вакуумных насосов с предельным вакуумом 0,027 или 0,004 мбар абс. Серия ESA – это ряд многоступенчатых сухих насосов Рутса с предельным вакуумом порядка 0,005 мбар абс. Серия ESR – это сухие насосов Рутса с улучшенным предельным вакуумом, порядка 0,002 мбар абс. Серия EV-M – это гамма сухих вакуумных насосов нового поколения с комбинированными (винтовой + Рутс) ступенями откачки, пониженным энергопотреблением и низким уровнем шума в работе. Области применения сухих – полупроводниковая промышленность, биотехнологии, ускорители частиц, разнообразные научные исследования и аэро-космические экспериментальные технологии. |
Тип насоса | Основные технические данные: | ||||||
Конструкция насоса | Скорость откачки, м³/ч | Предельный вакуум, мбар абс. | Мощность электро-двигателя, кВт | Уровень шума, дБ(А) | Габаритные размеры, (L×B×H) мм | Вес, кг | |
PDV 250 | винтовой, 2 ступени | 13,8 | 0,005 | 0,45 | 54 | 442 x 168 x 273 | 15 |
PDV 500 | винтовой, 2 ступени | 30 | 0,005 | 0,66 | 56 | 467 x 185 x 305 | 20 |
EST 10N | винтовой, 1 ступень | 60 | 0,027 | 4,6 | 58 | 1100 x 410 x 532 | 260 |
EST 25N | винтовой, 1 ступень | 150 | 0,027 | 7,3 | 60 | 1140 x 410 x 531 | 300 |
EST 100WN | винтовой, 2 ступени | 300 - 600 | 0,004 | 8,2 | 62 | 1140 x 410 x 946 | 420 |
EST 200WN | винтовой, 2 ступени | 600 - 1200 | 0,004 | 8,5 | 62 | 1140 x 410 x 946 | 450 |
EST 300WN | винтовой, 2 ступени | 900 - 1800 | 0,004 | 12,7 | 64 | 1140 x 520 x 948 | 500 |
EST 500WN | винтовой, 2 ступени | 1500 - 3000 | 0,004 | 15,1 | 67 | 1140 x 520 x 948 | 550 |
ESA 15-D | насос Рутса, 1 ступень | 84 | 4 | 6,4 | 60 | 1074 x 394 x 520 | 240 |
ESA 25-D | насос Рутса, 1 ступень | 150 | 0,053 | 6,4 | 60 | 1074 x 394 x 520 | 240 |
ESA 70W-D | насос Рутса, 2 ступени | 420 | 0,0027 | 10,3 | 62 | 985 x 400 x 770 | 380 |
ESA 80W-HDF | насос Рутса, 2 ступени | 504 | 0,0013 | 12,6 | 62 | 995 x 400 x 780 | 400 |
ESA 100W | насос Рутса, 2 ступени | 600 | 0,0013 | 12,6 | 62 | 995 x 400 x 780 | 400 |
ESA 200W | насос Рутса, 2 ступени | 1200 | 0,0053 | 12 | 62 | 970 x 400 x 907 | 410 |
ESA 300W | насос Рутса, 2 ступени | 1680 | 0,0053 | 23,7 | 64 | 1110 x 620 x 945 | 700 |
ESA 500W | насос Рутса, 2 ступени | 2820 | 0,0053 | 41,3 | 66 | 1110 x 620 x 1010 | 750 |
ESR 20N | насос Рутса, 1 ступень | 78 | 0,02 | 4 | 60 | 695 x 280 x 370 | 90 |
ESR 30N | насос Рутса, 2 ступени | 180 | 0,0067 | 7 | 60 | 760 x 400 x 488 | 190 |
ESR 80WN | насос Рутса, 2 ступени | 240 - 510 | 0,002 | 7 | 62 | 720 x 380 x 705 | 180 |
ESR 100WN | насос Рутса, 2 ступени | 240 - 600 | 0,002 | 7 | 62 | 720 x 380 x 705 | 180 |
ESR 200WN | насос Рутса, 2 ступени | 600 - 1200 | 0,0013 | 8 | 62 | 850 x 380 x 705 | 250 |
ESR 130WN | насос Рутса, 2 ступени | 1800 | 0,002 | 10,6 | 64 | 825 x 460 x 880 | 390 |
ESR 500WN | насос Рутса, 2 ступени | 2760 | 0,002 | 12,3 | 65 | 975 x 460 x 880 | 500 |
EV-M102N New | винтовой + Рутс (2 ст.) | 600 | 0,005 | 5,4 | 60 | 700 x 400 x 700 | 320 |
EV-M202N New | винтовой + Рутс (2 ст.) | 1200 | 0,005 | 6 | 62 | 850 x 400 x 700 | 360 |
EV-M302N New | винтовой + Рутс (2 ст.) | 1800 | 0,005 | 6,8 | 63 | 800 x 450 x 880 | 400 |
EV-M502N New | винтовой + Рутс (2 ст.) | 3000 | 0,005 | 7,1 | 64 | 950 x 450 x 880 | 500 |
EV-M802N New | винтовой + Рутс (2 ст.) | 4800 | 0,005 | 8,3 | 67 | 1100 x 640 x 1100 | 740 |