Сухие винтовые вакуумные насосы и многоступенчатые насосы Рутса

Кулачковые вакуумные насосы серии Mink Сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA («Буш» или BUSCH, Германия) – это классические винтовые машины, которые ведут свой «род» от винтовых компрессоров, которые вытеснили за последние 20 лет весьма распространенные в 20-м веке поршневые машины практически во всех крупных предприятиях мировой промышленности. Главные преимущества винтовых вакуумных насосов – это хороший уровень ЧИСТОГО вакуума и низкое энергопотребление. Кроме того, винтовая конструкция позволяет эффективно распределять энергию в зависимости от потребления вакуума в рабочих циклах техпроцессов. Это выполняется посредством повышения или понижения скорости вращения роторов с помощью частотного инвертора, которым оснащается электропривод вакуумного насоса по требованию заказчика.
Серия винтовых насосов COBRA включает восемь стандартных моделей с производительностью (от 100 до 2000) м3/ч, которые развивают вакуум порядка 0,05 мбар абс. Возможна поставка химически стойких и взрывозащищенных исполнений винтовых вакуумных насосов COBRA.
Тип насоса Основные технические данные:
Конструкция насоса Производи-тельность, м³/ч Предельный вакуум, мбар абс. Мощность электро-двигателя, кВт Уровень шума, дБ(А) Габаритные размеры, (L×B×H) мм Вес, кг
NC 0100 B винтовой 110 менее 0,05 3 70 1004×467×595 235
NC 0200 B винтовой 220 менее 0,05 5,5 71 1174×467×607 290
NC 0300 B винтовой 320 менее 0,05 7,5 72 1334×467×607 315
NC 0250 B винтовой 210 менее 0,05 5,5 66 1146×424×558 300
NC 0400 B винтовой 350 менее 0,05 7,5 66 1329×480×638 460
NC 0630 B винтовой 525 менее 0,05 11 70 1500×522×689 660
NC 0900 B винтовой 720 менее 0,05 15 75 1865×620×810 1200
NC 2500 B New винтовой 2000 0,5 55 89 2120×1470×1450 1800
Кулачковые вакуумные насосы серии Mink Сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA Semicon («Буш» или BUSCH, Германия) – это современные одно- или двухступенчатые винтовые и комбинированные вакуумные машины для достижения хорошего и чистого вакуума. Они относятся к новейшему поколению сухих вакуумных насосов и являются расширением классических рядов винтовых машин (Screw pumps) в область переходных границ среднего и высокого вакуума. В отличие от классических вакуумных винтовых насосов, эти вакуумные агрегаты, стартуя с атмосферного давления (1013 мбар абс.), могут вести откачку до относительно высокого уровня вакуума, вплоть до 0,001 мбар абс. Выхлоп винтовых вакуумных насосов происходит в атмосферу, они не требуют наличия смазок в зоне сжатия и относятся к разряду сухих вакуумных насосов, создающих чистый, свободный от капельных и летучих углеводородов вакуум. Для управления частотой вращения роторов могут применяться встроенные частотные инверторы в комплекте с простейшими чипами электронного управления. Т.о. при откачке густых газовых потоков на высоких давлениях частота вращения роторов может автоматически снижаться, а при хорошем вакууме повышаться, увеличивая тем самым производительность откачки. Типичная сфера применения – производство полупроводников.
Тип насоса Основные технические данные:
Конструкция насоса Скорость откачки, м³/ч Предельный вакуум, мбар абс. Мощность электро-двигателя, кВт (об/мин) Уровень шума, дБ(А) Габаритные размеры, (L×B×H) мм Вес, кг
DS 0080 C винтовой, 1 ступень 70 0,03 2,2 (3000) 62 865×385×667 276
BA 0100 B винтовой, 1 ступень 85 0,01 1,8 (3000) 58 634×304×338 120
DS 0160 C винтовой, 1 ступень 140 0,03 4 (3000) 68 975×425×697 338
DS 0600 D винтовой, 1 ступень 600 0,01 15 (3600) 69 1617×587×748 745
DS 0700 C винтовой, 2 ступени 500 0,003 2,2 + 2,2 (3000/3000) 62 865×385×917 445
DS 1000 C винтовой, 2 ступени 525 0,003 2,2 + 3 (3000/3000) 62 1034×425×1017 576
DS 1000 F винтовой, 2 ступени 980 0,003 4,4 + 2,9 (5100/5400) 62 1068×426×773 435
DS 2000 C винтовой, 2 ступени 1365 0,003 4 + 4 (3000/3000) 68 1063×465×1069 668
DS 2000 F винтовой, 2 ступени 1500 0,003 4,4 + 4 (5100/5400) 62 1068×426×800 470
DS 3010 D винтовой, 2 ступени 3100 0,001 15 + 15 (3000/3600) 74 1420×723×1525 1380
DS 8161 D винтовой, 2 ступени 6000 0,001 15 + 15 (3600/5100) 74 1536×723×1505 1440
DS 8162 D винтовой, 3 ступени 7200 0,003 2 х 15 + 20 (3000/3600) 74 1604×1462×1860 2500
Кулачковые вакуумные насосы серии Mink Сухие вакуумные насосы серий NeoDry, SDE и MU («Кашияма» или Kashiyama, Япония) – это современные одно- или двухступенчатые двухроторные винтовые и типа Рутса вакуумные машины для достижения относительно хорошего уровня ЧИСТОГО вакуума. Они относятся к новейшему поколению сухих вакуумных насосов и являются расширением классических рядов двухроторных машин Рутса (Screw & Roots) в область откачки плотных газовых сред от атмосферного давления (1013 мбар абс.) до граничного среднего с высоким вакуума, вплоть до 0,001 мбар абс. Серия сухих вакуумных насосов NeoDry – это компактные многоступенчатые вакуумные насосы Рутса малого класса с производительностью (от 15 до 60) м3/ч и предельным вакуумом 0,01 мбар абс.
Линия сухих вакуумных насосов MU – это компактные многоступенчатые вакуумные насосы Рутса среднего класса с производительностью (от 100 до 1200) м3/ч и предельным вакуумом 0,005 мбар абс.
Гамма сухих вакуумных агрегатов SDE – это винтовые вакуумные насосы с автоматически оптимизированными кривыми скоростей откачки (от 80 до 2100). Регулирование выполнено с помощью частотного управления электроприводами винтовых вакуумных насосов.
Одна из важных отраслей применения сухих вакуумных насосов NeoDry, SDE и MU – полупроводниковая промышленность.
Тип насоса Основные технические данные:
Конструкция насоса Скорость откачки, м³/ч Предельный вакуум, мбар абс. Мощность электро-двигателя, кВт Уровень шума, дБ(А) Габаритные размеры, (L×B×H) мм Вес, кг
NeoDry 15E насос Рутса, 1 ступень 15 0,01 0,4 менее 56 385 x 210 x 250 23
NeoDry 30E насос Рутса, 1 ступень 30 0,01 0,75 менее 56 410 x 210 x 250 25
NeoDry 36E насос Рутса, 1 ступень 36 0,01 0,75 менее 58 475 x 298 x 275 54
NeoDry 60E насос Рутса, 1 ступень 60 0,01 1,1 менее 60 530 x 315 x 275 56
MU 100X насос Рутса, 1 ступень 99,6 0,015 1,5 60 450 x 230 x 275 60
MU 300X насос Рутса, 2 ступени 300 0,005 2,2 + 3 62 472 x 230 x 550 100
MU 600X насос Рутса, 2 ступени 600 0,005 3 + 4 62 552 x 230 x 550 120
MU 1200X насос Рутса, 2 ступени 1200 0,005 3 + 5,5 62 648 x 275 x 610 165
SDE 90X винтовой, 1 ступень 78 0,013 1,5 62 690 x 370 x 581 150
SDE 303X винтовой, 2 ступени 300 0,005 2,2 + 3 62 760 x 400 x 905 260
SDE 603X винтовой, 2 ступени 600 0,005 3 + 4 62 760 x 400 x 905 260
SDE 1203X винтовой, 2 ступени 1200 0,005 3 + 5,5 64 900 x 400 x 905 310
SDE 20M09X винтовой, 2 ступени 2100 0,005 4 + 7,5 67 900 x 460 x 960 470
Кулачковые вакуумные насосы серии Mink Сухие вакуумные насосы серий PVD, EST, ESA и ESR («Эбара» или EBARA, Япония) – это современные одно- или двухступенчатые винтовые агрегаты и вакуумные машины Рутса для достижения относительно хорошего уровня ЧИСТОГО вакуума. Это новейшее высокотехнологичное поколению сухих вакуумных насосов, которые являются расширением классических рядов двухроторных машин Рутса (Roots & Screw) в область откачки газовых сред от атмосферного давления (1013 мбар абс.) до граничного среднего с высоким вакуума, вплоть до 0,001 мбар абс.
Серия PVD – это компактные винтовые агрегаты малого класса с предельным вакуумом 0,005 мбар абс.
Серия EST – это широкая линейка винтовых вакуумных насосов с предельным вакуумом 0,027 или 0,004 мбар абс.
Серия ESA – это ряд многоступенчатых сухих насосов Рутса с предельным вакуумом порядка 0,005 мбар абс.
Серия ESR – это сухие насосов Рутса с улучшенным предельным вакуумом, порядка 0,002 мбар абс.
Серия EV-M – это гамма сухих вакуумных насосов нового поколения с комбинированными (винтовой + Рутс) ступенями откачки, пониженным энергопотреблением и низким уровнем шума в работе.
Области применения сухих – полупроводниковая промышленность, биотехнологии, ускорители частиц, разнообразные научные исследования и аэро-космические экспериментальные технологии.
Тип насоса Основные технические данные:
Конструкция насоса Скорость откачки, м³/ч Предельный вакуум, мбар абс. Мощность электро-двигателя, кВт Уровень шума, дБ(А) Габаритные размеры, (L×B×H) мм Вес, кг
PDV 250 винтовой, 2 ступени 13,8 0,005 0,45 54 442 x 168 x 273 15
PDV 500 винтовой, 2 ступени 30 0,005 0,66 56 467 x 185 x 305 20
EST 10N винтовой, 1 ступень 60 0,027 4,6 58 1100 x 410 x 532 260
EST 25N винтовой, 1 ступень 150 0,027 7,3 60 1140 x 410 x 531 300
EST 100WN винтовой, 2 ступени 300 - 600 0,004 8,2 62 1140 x 410 x 946 420
EST 200WN винтовой, 2 ступени 600 - 1200 0,004 8,5 62 1140 x 410 x 946 450
EST 300WN винтовой, 2 ступени 900 - 1800 0,004 12,7 64 1140 x 520 x 948 500
EST 500WN винтовой, 2 ступени 1500 - 3000 0,004 15,1 67 1140 x 520 x 948 550
ESA 15-D насос Рутса, 1 ступень 84 4 6,4 60 1074 x 394 x 520 240
ESA 25-D насос Рутса, 1 ступень 150 0,053 6,4 60 1074 x 394 x 520 240
ESA 70W-D насос Рутса, 2 ступени 420 0,0027 10,3 62 985 x 400 x 770 380
ESA 80W-HDF насос Рутса, 2 ступени 504 0,0013 12,6 62 995 x 400 x 780 400
ESA 100W насос Рутса, 2 ступени 600 0,0013 12,6 62 995 x 400 x 780 400
ESA 200W насос Рутса, 2 ступени 1200 0,0053 12 62 970 x 400 x 907 410
ESA 300W насос Рутса, 2 ступени 1680 0,0053 23,7 64 1110 x 620 x 945 700
ESA 500W насос Рутса, 2 ступени 2820 0,0053 41,3 66 1110 x 620 x 1010 750
ESR 20N насос Рутса, 1 ступень 78 0,02 4 60 695 x 280 x 370 90
ESR 30N насос Рутса, 2 ступени 180 0,0067 7 60 760 x 400 x 488 190
ESR 80WN насос Рутса, 2 ступени 240 - 510 0,002 7 62 720 x 380 x 705 180
ESR 100WN насос Рутса, 2 ступени 240 - 600 0,002 7 62 720 x 380 x 705 180
ESR 200WN насос Рутса, 2 ступени 600 - 1200 0,0013 8 62 850 x 380 x 705 250
ESR 130WN насос Рутса, 2 ступени 1800 0,002 10,6 64 825 x 460 x 880 390
ESR 500WN насос Рутса, 2 ступени 2760 0,002 12,3 65 975 x 460 x 880 500
EV-M102N New винтовой + Рутс (2 ст.) 600 0,005 5,4 60 700 x 400 x 700 320
EV-M202N New винтовой + Рутс (2 ст.) 1200 0,005 6 62 850 x 400 x 700 360
EV-M302N New винтовой + Рутс (2 ст.) 1800 0,005 6,8 63 800 x 450 x 880 400
EV-M502N New винтовой + Рутс (2 ст.) 3000 0,005 7,1 64 950 x 450 x 880 500
EV-M802N New винтовой + Рутс (2 ст.) 4800 0,005 8,3 67 1100 x 640 x 1100 740