Вакуумные системы с турбомолекулярными насосами

Вакуумные системы Pillar с турбомолекулярными насосами серии STP Системы Pillar с турбомолекулярными насосами серии STP – это вакуумные системы, выполненные в виде автономных мобильных высоковакуумных откачных постов, созданных на основе современных высоковакуумных турбомолекулярных насосов SST 81 и SST 301. Они обеспечивают достижение вакуума порядка (1 х 10-7) мбар абс. в откачиваемых герметичных объемах. Для 1-й ступени форвакуумной откачки применяется 2-хступенчатый пластнчато-роторный маслоуплотняемый (системы STP/1) или сухой 3-хступенчатый мембранный (системы STP/D1) вакуумный насос. Системы STP снабжены контроллером измерения давления с Pirani-датчиком низкого вакуума. Запуск в работу турбомолекулярного насоса и его выключение выполняются автоматически через контроллер турбомолекулярного насоса. Запуск и выключение форвакуумных насосов производятся расположенными на них кнопками запуска. Дополнительно эти системы могут быть укомплектованы Penning-датчиком для измерения высокого вакуума, который работает от контроллера измерения давления.
Технические данные откачные высоковакуумные посты серий STP и STP/D
STP/1 STP/5 STP/D1 STP/D5
Высоковакуумная производительность, л/с 77 250 77 250
Предельный вакуум, мбар абс. 5 х10-7 5 х10-7 5 х10-6 5 х10-6
Модель турбомолекулярного насоса
и его производительность, л/сек
SST 81
77
SST 301
250
SST 81
77
SST 301
250
Модель форвакуумного насоса
и его производительность, м3/час
P 4 Z
4,6
P 4 Z
4,6
MPC 601 Tp
4,5
MPC 601 Tp
4,5
Потребляемая мощность, кВт 0,5 0,7 0,5 0,7
Габаритные размеры, мм 500 х 480 х 680 500 х 480 х 680 480 х 500 х 700 480 х 500 х 700
Вес системы, кг 20 25 20 25

Комплект поставки:

Компактные вакуумные системы с турбомолекулярными насосами серии CDK Компактные системы с турбомолекулярными насосами серии CDK – это вакуумные системы, выполненные в виде автономных компактных высоковакуумных откачных постов, собранных на основе модификаций современного высоковакуумного турбомолекулярного насоса SST 81. Они обеспечивают достижение вакуума порядка (1 х 10-8) мбар абс. в откачиваемых герметичных объемах. Для 1-й ступени форвакуумной откачки применяются миниатюрные сухие мембранные и поршневой вакуумные насосы. Системы CDK снабжены датчиками вакуума, запускаются в работу и выключаются полностью автоматически нажатием одной кнопки.
Высоковакуумные посты STP оснащены встроенным контроллером управления с интерфейсом RS 232 с внешним выводом сигналов и общих данных для подключения в работу автоматизированных технологических линий и осуществления контроля техпроцессов в вакууме.
Дополнительно CDK системы могут быть укомплектованы датчиками и контроллером для измерения низкого и высокого вакуума.
Технические данные откачные высоковакуумные посты серии CDK
CDK 180 CDK 180 UHV CDK 280 CDK 280 UHV CDK 181 CDK 181 UHV CDK 281 CDK 281 UHV
Высоковакуумная производительность, л/с 50 50 77 77 50 50 77 77
Предельный вакуум, мбар абс. 5 х 10-7 5 х 10-8 5 х 10-7 5 х 10-8 5 х 10-7 5 х 10-8 5 х 10-7 5 х 10-8
Модель турбомолекулярного насоса
и его производительность, л/сек
SST 81/40
50
SST 81/40 UHV
50
SST 81
77
SST 81 UHV
77
SST 81/40
50
SST 81/40 UHV
50
SST 81
77
SST 81 UHV
77
Модель форвакуумного насоса
и его производительность, м3/час
MPC 104 Tp
0,7
MPC 104 Tp
0,7
MPC 104 Tp
0,7
MPC 104 Tp
0,7
MP 030 Z
и LK 41
1,5
MP 030 Z
и LK 41
1,5
MP 030 Z
и LK 41
1,5
MP 030 Z
и LK 41
1,5
Потребляемая мощность, кВт 0,4 0,4 0,4 0,4 0,5 0,5 0,5 0,5
Габаритные размеры, мм 193 х 344 х 400 193 х 344 х 398 193 х 344 х 400 193 х 344 х 400 193 х 414 х 404 193 х 414 х 404 193 х 414 х 385 193 х 414 х 385
Вес системы, кг 13,7 14,7 13,7 14,7 15 16 15 16

Комплект поставки: